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直流磁控濺射電源
產品簡介

直流濺射電源特點:1.采用國外最新微電子PWM控制技術。2.靈敏的過流(滅弧)保護。3.電子電抗,負載匹配性好。4.集成化設計、體積小、水冷更穩定!5.N+1備份,可做到永不停產

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產品介紹

直流濺射電源特點:
1.采用國外最新微電子PWM控制技術。
2.靈敏的過流(滅弧)保護。
3.電子電抗,負載匹配性好。
4.集成化設計、體積小、水冷更穩定!
5.N+1備份,可做到永不停產!

典型應用:
1.太陽能真空集熱管鍍膜設備。
2.鋁鏡磁控濺射連續線。
3.陶瓷多弧磁控濺射鍍膜設備。
4.ITO氧化銦錫濺射鍍膜設備。
。。。。。。

PLT/DCS直流磁控濺射電源型號及參數
型  號     額定功率 冷卻方式  控制方式 空載電壓 最大電流  模塊數量
PLT/DCS15K  15KW     風冷+水冷  恒電流    DC800V   25A       1
PLT/DCS30K  30KW     風冷+水冷  恒電流    DC800V   50A       1+2
PLT/DCS45K  45KW     風冷+水冷  恒電流    DC800V   75A       1+3
PLT/DCS60K  60KW     風冷+水冷  恒電流    DC800V   100A      1+4

上述型號,機身尺寸全部:L580 X W445 X H180mm。

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